Ｘ線用のＣＣＤ検出器は、大きく分けて３種類あります。

軟Ｘ線用（ＳＸ）、軟―硬Ｘ線用（ＬＣＸ）、硬Ｘ線用（ＳＣＸ）です。

基本原理

軟Ｘ線ホトンや中強度のＸ線ホトンは、ＣＣＤのシリコン層で吸収され、Ｘ線―電荷変換がおこります。光との違いは、ひとつのホトンが吸収されると、たくさんのホトエレクトロンが生まれるということです。光の場合は、量子効率１００％を超えることはありませんが、Ｘ線の場合は、１００％を超えてしまいます。光の場合は、量子効率だけで、光の収率を考えますが、Ｘ線の場合は、Ｘ線の吸収効率と検出後の量子効率（ＤＱＥ）で、考えます。

Ｘ線用ＣＣＤ検出器の感度やＳ／Ｎは、吸収効率と量子効率の両方で考える必要があります。

各種ＣＣＤ検出器の特徴

ＳＸ型

軟Ｘ線用の検出器は、背面照射型（バックイルミネイトＣＣＤ）を使います。軟Ｘ線のＸ線―電荷変換は、ＣＣＤ表面近傍でおこります。エネルギーが小さければ、小さいほど、表面近くで光電変換されますので、背面照射型のＣＣＤでしか、軟Ｘ線の検出ができなくなります。フロント型は、ポリシリコンゲートなどの構造上の問題で、低エネルギーの軟Ｘ線への感度はありません。

ＬＣＸ型

フロントイルミネイト型ＣＣＤ素子は、中エネルギーのＸ線への感度があります。しかし、エネルギーが高くなれば、なるほど、シリコン層の深いところでのＸ線―電荷変換がおこり、高エネルギー側の感度は、シリコン層の深さ（厚み）が深いほうが高くなります。そのため、ＲＳ社は、通常にシリコンではなく、抵抗の大きなシリコン（Deep depletion型）を採用して、エネルギーレンジを広くしています。

ＳＣＸ型

硬Ｘ線ＣＣＤ検出器の特徴は、ＣＣＤ素子のシリコン層の厚みでは、通り抜けてしまうような高いエネルギーのＸ線を取り込む検出器です。

この検出器は、Ｘ線をホスファーにて、光に変換し、その後、光ファイバーにてＣＣＤ素子とカップリングしています。ホスファーの材質は、主にＧｄＯ2を使用しますが、Cslの使用も可能です。

光ファイバーテーパを用いると、口径１５０ｍｍ程度まで、撮像エリアを大きくできます。また、ＣＣＤ素子を-５０度以下に冷却することで、微弱なＸ線を捕らえることが可能です。