ＣＣＤ用ＵＶコーティング
通常、ＣＣＤ素子はＵＶ光を感じません。とくにフロントイルミネイト型ＣＣＤ素子はＵＶ光を感じません。その理由は、フロントイルミネイト型ＣＣＤの電荷輸送をおこなうための電極の材質がポリシリコンというもので、このポリシリコンゲートがＣＣＤ素子の表側、光を感じる面についているからです。ポリシリコンは、ＵＶ光を吸収してしまい、光をＣＣＤのシリコン層に通しません。そのため、ＵＶ光への感度がありません。
このため、ＲＳ社は、ポリシリコン上にルモゲンという化学物質をコーティングして、ＵＶ光をＶＩＳ光に変換して、ＵＶ光への感度を高めています。
背面照射型ＣＣＤ素子（バックイルミネイト型ＣＣＤ）は、ＵＶ光に対する感度を持っています。しかし、ＢＩ・ＣＣＤ素子には通常、ＡＲコーティングをおこない、紫外、可視、近赤への感度を高める操作をしています。ＡＲコートの厚さを変えることで、ターゲットの波長での感度がもっともよくなるように工夫をしています。しかし、このような工夫をすると、ターゲットの波長での効率はよくなりますが、ターゲットの波長から離れれば、離れるほど、効率が悪くなります。そのため、可視用ＡＲコートをしたＣＣＤ素子は、紫外域での感度が著しく低下してしまいます。
また、ＵＶ・ＡＲコートをしたＣＣＤ素子は、最近の研究によって、温度を下げるとその効率が著しく悪くなっていくことが解りました。このため、ＲＳ社では、自社開発のユニクロムという化学物質をＶＩＳ・ＡＲコーティングのＣＣＤ素子にコーティングして、ＵＶから可視、近赤まで、感度効率がよいＣＣＤ素子を提供しています。
最近のテクノロジーとして、ポリシリコンの代わりに、酸化すずを電極材料として、可視光や紫外光の効率をあげたフロントイルミネイト型ＣＣＤがあります。コダックの
1401Ｅ素子などです。また、電極に穴をあけて、光をシリコン層に多く取り込むタイプのＣＣＤ素子も出ました。ＥＥＶの２５６ＯＥです。紫外の感度が非常によくなっています。
2000/10/12